极紫外光刻机
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ASML措手不及,所有EUV光刻机都卖不出,不卖中国还能卖给谁?
之前ASML还曾对自家的2纳米EUV光刻机信心满满,但是随着市场逐渐明朗,如今它正陷入窘境,那就是第一代EUV光刻机和最新的2纳米EUV光刻机都面临无人购买的境况,而对EUV光刻机有强烈需求的中国又不许卖
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三菱电机开发紧凑型高能亚纳秒脉冲深紫外激光系统
近期,日本三菱电机宣布了一项重大合作成果:与日本国家自然科学院的物理化学研究所(RIKEN)及分子科学研究所(IMS)携手,成功研发出一款高性能的短脉冲(亚纳秒级)深紫外(DUV)激光系统。
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