高精密封装是MEMS VOA制作的关键所在，光迅科技是国内为数不多的具有独立封装制作反射式MEMS VOA的光器件公司，其制作的MEMS VOA器件外形尺寸仅为5.4×25.4mm（不计焊接用引脚长度）。

　　VOA的技术指标主要包括：工作波长范围、工作温度、动态衰减范围、插入损耗（IL）、回波损耗（RL）、偏振相关损耗（PDL）、温度特性和波长相关损耗（WDL）等，光迅科技制造的MEMS VOA主要指标见表1，已达到行业内同种产品的较高水平。与同类公司相比，光迅的器件还具有更佳的防静电能力与长期稳定性，且能灵活提供不同电压（5V&15V）需求的产品。此外，其重量不到3g，功耗小于5mw，响应时间一般为2~3ms，非常有利于模块拼接，为光通信系统的小型化和集成化作出了重大的贡献。

　　表1 光迅科技MEMS VOA主要性能指标

　　上表中的偏振相关损耗与温度相关损耗都是在整个衰减范围内（0~30dB）测试，波长相关损耗则可以根据需求进行定制。同时，光迅科技还提供具备断电保护功能的Dark型MEMS VOA，零伏复位衰减可以达到45dB以上，能满足更多光通信线路的应用。

　　3 MEMS VOA的模块级应用

　　正如电路的高度集成化一样，光通信系统未来的发展方向必然也是模组化与封装小型化，这就对构成光系统的元器件提出了小型化和模块化的要求。封装结构紧凑的MEMS VOA应运而生，它除了单通道的应用外，还经常与其它光器件一起组成模块使用，具体包括：与可重构的光分插复用器（Reconfigurable Optical Add/Drop Multiplexer，ROADM）组成增益均衡ROADM，与MUX（Multiplexer）组成增益平衡VMUX模块结构，与EDFA组成增益平衡放大器，与放大自发辐射（ASE）光源组成增益控制器，等等。

　　3.1 低成本OADM模块

　　作为当前光纤通信网络的一种重要的节点设备，OADM无需光电转换即可实现从环路中上/下载一路或多路波长信道。使用OADM可以减少光信道上信息的处理和等待时间，减少节点上设备的复杂性，且可使光信号透明地传输和上/下载不同光波长的信息或各种业务。

　　在ROADM的产业化遭受成本瓶颈时，针对运营商对网络业务比较完善的规划，光迅科技推出了各种低成本的OADM模块。该系列产品结构简单，可选择性地预留升级端口，支持灵活的扩展升级功能，上下路波长较少时成本低，具备通道功率均衡能力，可对上下路功率进行实时监测。

　　模块的外形尺寸为：138×130×17.8mm，适用于100GHz系统，同时上下8路固定的波长，并预留上下其它波长的升级口。模块由DWDM（100GHz）、TAP-PD和MEMS VOA集成，其光路如下图4所示。

　　图4 光迅科技OADM模块原理图