近日，有消息称，台积电计划将于年底关闭部分EUV光刻机。

相关资料显示，光刻机是芯片制造过程中不可或缺的重要设备。越高端的芯片，其对光刻机的要求也就越高。比如，生产7nm及以下的芯片，必须要用到EUV光刻机。而目前能够生产EUV光刻机的厂商只有一家，那就是光刻机制造商阿斯麦（ASML）。

随着半导体技术的发展，光刻的精度不断提高，已由微米级、亚微米级、深亚微米级，细化到当前的纳米级，曝光光源的波长也由436纳米（G线）、365纳米（Ⅰ线），发展到248纳米（KrF）、193纳米（ArF），再到13．5纳米（EUV）。

EUV是线宽突破10纳米，甚至之后的7纳米、5纳米、3纳米工艺的关键。而在摩尔定律不断挑战物理极限的当下，半导体先进工艺领域的竞争形势，用“得EUV者得先进工艺”来形容并不为过。

其中，最受瞩目的就是台积电和三星这两大巨头。他们都完成了4nm芯片的量产，且预计在2022年期间还能取得3nm工艺的量产进步，持续向着摩尔定律的极限发起挑战。也是这个原因，EUV正在成为半导体巨头在先进工艺领域争夺优势地位的焦点。

而其他的各大芯片制造商也都在加紧采购光刻机，比如中芯国际，先是与ASML确定了价值12亿美元的采购协议，然后是将原定于2021年年底到期的协议时间延长至2022年。

由于ASML几乎垄断了中高端光刻机80％以上的市场，这也导致了EUV光刻机拥有不菲的售价。据悉，一台EUV光刻机的售价将近2亿美元，而新一代EUV光刻机的售价更是高达4亿美元。但即便售价如此高昂，也阻挡不了台积电、三星等芯片大厂积极抢购。

花了如此昂贵的价格采购回来的EUV光刻机却面临关停的局面，有网友调侃道还不如卖给中芯国际，台积电或许也相当无奈……

一方面，台积电计划关停EUV光刻机是为了减少电费开支。有网友指出，台湾的电费为2．8元新台币，而台积电一家企业，仅一台EUV光刻机每天就要用掉3万度电。按此计算的话，全年则需要消耗1千万度电。

据悉，目前台积电大约拥有80台EUV光刻机，那么一年就要用掉8亿度电。而过去几年间，台湾经历过数次全岛大停电；另有数据显示，2021年台积电实际用电量已接近170亿度，占全台湾用电量的8％左右。这对于资源本就有限的台湾来说，绝对是一个不小的压力。

而另一方面，台积电此举也是为了调节供需平衡。此前“缺芯潮”席卷全球，许多芯片厂商为了满足客户需求，并且快速抢占市场而大幅扩产。但今年以来，消费电子市场需求明显下滑，不少芯片厂商遭到客户砍单，甚至连台积电亦难以幸免。

考虑到具体的3nm客户情况，以及当前台湾供电情况，台积电不得不计划要关掉部分EUV光刻机，以减少巨大的电费开支。相关分析师认为，此举或将间接影响台积电业绩。